[联合仿真]射频激励CO2激光器

系统组成如图1，射频功率由一根铜柱（1）馈入，接到放电电极（3）上。放电面积（即电极（3）下表面）为465.2mm×42mm。由于放电面积比较大，长度方向较长，因此为了保证电压在电极平面上均匀分布，采用分布式电感的方法进行均压。均压电感设计为平面形式。用一整块铝板加工而成，四周的边框连接到箱体接地，中间在长度方向分布了10个“回”型电感。每个电感的中间端部通过一根小柱子与放电电极相连，如图2所示。电极（3）和下电极（5）之间充满放电气体，形成放电区域（6）。射频电源为81.36MHz。

上极板加电感前后的电压分布如图3所示，电压波动大的是没有加电感，电压波动小的是加电感后的样子，可以近似认为电压已经很均匀了。

现在要用CST软件仿真出这种电压波动的情况，得出加电感前后电压不同分布的对比，我们也可以把电压分布转化成电场分布，在CST软件中仿真出电场分布就可以了，我设计了模型，但是一直仿真不出来像图3那样的分布趋势，电感值大小会影响，但是理论上分布趋势应该接近啊，所以想请教会的大神，希望哪个大神能够认真做一下，期待佳音，希望都寄托在你们身上了，谢谢。。我一直怀疑自己的边界条件和波导设置有问题。参看附件        

`4snTM!v&  

K-)!d$$   

ZJU %&@  

{U$XHG  

   & .. pfHjs3A=  
|9\i+)C  

未注册仅能浏览部分内容，查看全部内容及附件请先 登录 或 注册