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CCP等离子仿真问题,求救~~~~
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CCP等离子仿真问题,求救~~~~
离线
yczhao
UID :20039
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2008-10-24
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2016-08-06
发帖:
111
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仿真二级
0楼
发表于: 2012-03-01 14:05:49
COMSOL官网上下了一个CCP一维的等离子模型,GEC CCP Reactor, Argon Chemistry, 1D
4V~?.
现在想自己仿一个同样的模型,不过把频率从13.56MHz变为2.45GHz,线段的尺寸从0.0245m变为0.0002m。
-kbg\,PW
现在出现了问题,仿真出来的图形都只有参考文献中给的图的一段。比如说电子密度的图形应该是一个山峰形,但结果只有一半
%w7]@V Z
请问两个问题:
I[n^{8gz
1、study 1中 time dependent中的stop time和step time 的设置有什么原则?出现的问题是不是和这个设置有关?
c_elShK8#
2、是不是出现 ..
"+unS)M;Y
w|Nz_3tI
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faith_boy
UID :81631
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2011-08-18
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2015-03-19
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105
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仿真二级
1楼
发表于: 2012-04-20 16:21:21
最近一直都不能下载,怎么回事呀
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大家一起加油
离线
faith_boy
UID :81631
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2011-08-18
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2015-03-19
发帖:
105
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仿真二级
2楼
发表于: 2012-04-20 16:21:38
既然分享最快乐,何必限制呢?求助
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大家一起加油
离线
pulong
UID :97857
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192
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仿真二级
3楼
发表于: 2012-10-22 15:09:08
看來在這個版上討論CCP的很少,我是comsol初學者,沒做過仿真,但以實務經驗來講,無法直接將13.56MHz換成2.45GHz,這樣會有匹配的問題
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