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平板电极中用HFSS如何设置激励
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平板电极中用HFSS如何设置激励
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295435736
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2011-06-14
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2012-02-19
发帖:
10
等级:
仿真新人
0楼
发表于: 2011-06-17 15:35:47
有个问题想请教一下,在真空腔体中有上下两个方形极板,上层板电压为100V,下层板为0V,电极接点在上电极板背面中心处,加载频率13.56MHz射频源。
q<.^DO~$L
我用HFSS做的,在设置激励的时候选的是上极板背面加电压,但是电 ..
8_m dh +
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