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[其他]宙讯微电子对外提供压电MEMS代工服务

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0楼发表于: 2024-09-10 14:34:41

宙讯微电子对外提供压电MEMS代工服务

该工艺平台专注于压电MEMS领域新器件的研发和量产服务，平台设备选型满足6英寸全自动化晶圆量产需求。积极布局先进微电子器件、声电器件、MEMS器件、RF前端器件等领域，以满足电子信息、物联网、小基站、北斗等技术发展对于微纳加工的需求，现已建成集先进工艺开发、器件工艺制备及定制化产品开发量产为一体的综合性平台，实现了新材料从微米到纳米级别的结构与器件的可控开发、加工与测试，可为客户提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案。

（1） MEMS超声换能器PMUT代工服务

（2）光刻代工服务-步进式光刻机

（3）光刻代工服务-接触式光刻机

（4）匀胶显影代工服务

（5）晶圆CMP机械化学平坦化代工服务

（6）氮化铝AlN磁控溅射代工服务

（7） 掺钪氮化铝AlScN磁控溅射代工服务

（8）金属Mo磁控溅射代工服务

（9）金属蒸发代工服务

（10） PECVD二氧化硅及氮化硅沉积代工服务

（11）金属等离子体刻蚀RIE代工服务

（12）硅及氧化硅等离子体刻蚀RIE代工服务

（13）薄膜厚度修整代工服务

（14）湿法清洗及腐蚀代工服务

（15）晶圆植球代工服务

（16）热压超声倒装代工服务

（17）晶圆划片代工服务

（18）测试编带代工服务

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