请教各位大虾，国内加工RF MEMS 器件的单位有哪些，工艺如何？

离线danding

UID ：38800

0楼发表于: 2009-11-09 11:23:55

想调研一下，好像南京电子55所在这方面研究比较多，开关、移相器之类的，它给外面高校或单位加工吗？工艺如何？ ..

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离线danding

UID ：38800

1楼发表于: 2009-11-09 16:07:42

自己先顶一下！

离线z3phyr

UID ：38367

2楼发表于: 2009-11-09 22:48:26

北大微电子应该还不错吧
有微纳加工重点实验室

离线dz.0405

UID ：40408

3楼发表于: 2010-06-07 17:02:26

国内MEMS芯片（Die）供应商主要有：上海微系统所、沈阳仪表所、电子部13研究所、北京微电子所等，目前形成生产的主要是MEMS压力传感器芯片（Die）。------百度

UID ：36184

4楼发表于: 2023-08-11 23:18:50

对于楼主的问题同样很感兴趣。感觉现在主要的问题不是设计而是指制造。

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