混合电子太赫兹源填补微波与中红外空白

电子混合气体广泛用于大规模集成电路（L.S.I）超大规模集成电路（V.L.S.I）和半导体器件生产中，主要用于气相外延（生成）、化学气相淀积、掺杂（杂质 扩散）、各类蚀刻和离子注入等工艺中。包括： aj}(E+  
1. 外延生长用混合气体   O2"gj"D  
2. 蚀刻用混合气体   vp.ZK[/`  
3. 掺杂用混合气体   r/*=%~*  
4. 化学气相淀积用混合气体   D_8x6`z  
5. 离子注入用混合气气体   Zc?ppO  
所用气体包括：二氯二氢硅、四氯化硅和硅烷；四氟化碳、三氟化氮、 三氟甲烷、六氟乙烷、全氟丙烷；砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷等。 %E_b'[8  

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Microtech仪器公司发表了可用的紧凑太赫兹源，该设备覆盖了100GHz至1.0THz的光谱范围。根据早前2005年的理论，作为Microtech仪器公司和Virginia Diodes合作开发的项目成果，这种设备的性能已经极大的提高了。此项目由DARPA SBIR支持（目号SB062-002）。 Ve 4u+0  
混合电子源由基于固态电子的真空电子管（返波振荡BWO）构成，联接混频器。虽然返波振荡能保证很好的可调性和贯穿太赫兹波谱的高功率，但是这些设备在更高的频率变得非常巨大。基于低频返波振荡（毫米波）的混合电子源能保持紧凑的体型、重量和功率消耗，同时提供宽泛的波谱覆盖范围。 Yf[Qtmh]I  
“通过混频器拓宽返波管的作用范围极大的简化太赫兹实验系统。” Microtech 仪器公司资深科学家Walter Hurlbut博士说到。“返波管在有限的光谱范围可调，通常是100－200GHz，所以我们的客户不得不使用很多返波管来覆盖整个太赫兹波段。混合电子源拓宽了一个低频返波振荡的可操作频率范围，达到了近1000GHz。低频返波振荡也更加可靠，而且不需要水冷，这使整套设备更加实用。” WAn'kA  
关于Microtech仪器公司 Vi$-Bw$@  
Microtech Instruments是太赫兹部件和系统的领先制造商，包括太赫兹光谱仪、发生器和探测器。公司一直致力于创新，与全球领先研究机构有着合作关系。 ?:Bv iF);/  
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