[仿真]平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模分析

UID ：34070

0楼发表于: 2009-06-13 13:27:16

介绍了一种小型化的2.45GHz小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模方法。根据等效电路,推导出平面螺旋电感线圈的品质因数,并进行数值分析。研究表明:无载品质因数随结构、尺寸和频率等的变化而变化,并在谐振频率附近达到最大值。这为小功率电感耦合微波等离子体 ..

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三更残月照归路,九月凉风甚解酒.

UID ：51243

1楼发表于: 2010-01-23 14:35:56

真不错

离线nire

UID ：5630

2楼发表于: 2010-03-10 02:15:51

小弟正好作這方面的研究
參考文獻少之又少
您的發帖就像一陣及時雨

离线qijian

UID ：41303

3楼发表于: 2010-03-12 15:27:40

UID ：51554

4楼发表于: 2011-04-10 10:13:42

我下不了呀

UID ：92961

5楼发表于: 2012-07-05 17:20:56

威望怎么拥有啊

UID ：36184

6楼发表于: 2017-05-12 23:05:24

了解一下楼主的资料，多谢分享

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