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Designer MIM CAP 問題
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Designer MIM CAP 問題
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j255579
UID :118511
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2015-10-26
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2015-10-26
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旁观者
0楼
发表于: 2015-10-26 02:20:34
各位大大好
k[a<KbS
n9J{f"`m
最近想跑T18 MIM 電容的EM 模擬
#rBfp|b]1
=l*xM/S
我使用的是
Design
er 軟體
Y0EX{oxt1
.S/zxf~h
現在卡在要設定CTM的材質
0}`-vOLd-
m}RZ)c
我目前有M6 打VIA到 CTM CTM下面是M5
<Y1Plc
Ng W"w h
目前CTM材質設跟M5一樣
cYC^;,C &|
P\6:euI
那厚度跟起始高度都比照PDK給的
m&xVlS
+By '6?22
跑出來是有問題的
;sAGTq
7'i{JPm
所以想請問CTM的材質 以及CTM 到Metal 5 之間
&<uLr *+*
有要額外加 ..
p0zC(v0*
~@xPoD&
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amy_wang
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2015-10-26
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